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2026

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硅片/碳化硅/蓝宝石/氮化铝衬底，晶圆表面粗糙度白光干涉测量

摘要硅片、碳化硅、蓝宝石及氮化铝是半导体功率器件、光电子芯片与第三代半导体封装制程的核心晶圆衬底材料，晶圆表面粗糙度直接影响薄膜外延生长质量、光刻制程精度及器件键...

09

2026

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05

GB/T 3505 国标解读，白光干涉仪表面粗糙度测量

一、GB/T 3505表面粗糙度国标核心解读GB/T 3505是我国机械制造领域表面结构与粗糙度评定的基础性国家标准，对标国际通用计量规范，适配国内全品类机械加工...

09

2026

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05

微透镜焦距、NA 与聚光效率管控，白光干涉精密检测

引言微透镜及微透镜阵列是消费电子光电传感、激光聚光、微型成像模组的核心光学元件，其有效焦距、数值孔径NA以及聚光效率直接决定光电系统耦合精度、光能利用率与成像显色...

09

2026

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05

Str/Sal/Sdr/Sdq 等纹理参数解析，白光干涉仪测...

引言在精密加工、光学器件镀膜、精密模具及新能源核心零部件制造领域，工件表面微观纹理结构直接决定产品摩擦特性、疏水性、涂层附着力及光学散射性能。常规粗糙度高度参数仅...

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