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白光干涉仪性能评估需兼顾精度与完整性，大视场是关键评价维度

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）的微纳形貌检测评估，长期偏向聚焦垂直测量精度指标。小视场条件下亚纳米级检测能力已经普及...

02

2026

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白光干涉仪的共性瓶颈：高精度易实现，大视场（Large Fi...

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）依托低相干白光光源，在小视场条件下可稳定实现亚纳米级纵向测量精度，能够直接获取Sa、P...

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2026

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白光干涉仪微纳检测中，大视场（Large Field-of-...

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）凭借短相干光源特性，可实现非接触式三维形貌表征，在MEMS器件、钙钛矿薄膜、半导体载板...

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白光干涉仪的技术突破方向：从高精度向大视场（Large Fi...

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）凭借短相干长度特性，可实现亚纳米级垂直形貌测量，已成为微纳制造领域表面表征核心设备。现...

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