ZYGO白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）的标准电动物镜转台（Motorized Objective Turret）采用等焦面（Parfocal）安装基准，适配Michelson、Mirau型常规干涉物镜，是MEMS、晶圆（Wafer）面形检测的标准载镜单元。ZWF大视场物镜（Wide Field Objective）分为两类结构：1.4× ZWF满足等焦面与机械接口规范，可直接装配至标准转台，与1×~100×物镜共转切换；0.5×超广视场物镜为独立燕尾安装结构，不支持转台集成，无法与多倍率物镜自动轮换。

兼容风险集中在光机与成像两个维度：低NA（Numerical Aperture）大视场物镜的入瞳（Entrance Pupil）尺寸更大，易与转台内部结构产生渐晕（Vignetting）；视场扩大后，干涉条纹对比度（Fringe Contrast）对光源均匀性（Illumination Uniformity）、参考面倾角（Reference Surface Tilt）的敏感度上升，同步影响垂直扫描干涉（Vertical Scanning Interferometry, VSI）的解调稳定性。即便满足机械装配，相机靶面（Sensor Format）与变焦管（Zoom Tube）匹配不当，仍会造成边缘形貌失真。

工程适配方案优先选用1.4× ZWF转台可装版本，统一校准等焦面高度（Parfocal Height）与光轴同轴度（Optical Axis Coaxiality）；搭配原厂0.5×变焦管时需校核靶面裁剪边界（Crop Boundary），并关闭不支持的全域拼接模式。对于0.5×独立大视场光学头，采用单镜位切换（Single-Port Switching）方案，规避转台改造带来的等焦面失配。

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